- 히터를 내장함으로서, 종래의 일반적인 플라즈마 질화에 비해 다음과 같은 우수한 특징을 발휘

       ◦ 승온시간을 단축할수있다.

       ◦ 균일한 온도분포를 얻을 수 있다.

       ◦ 온도의 존 제어(Zone Control)가 가능해, 대형 장치라도 대량 균일 처리가 가능해진다.

       ◦ 상온에서의 글로우방전을 하지 않기 때문에 이상방전(아크방전)을 줄일 수 있다.

       ◦ 질량이 다른 처리재의 혼재처리가 가능하다.

       ◦ 복합한 형상부품이라도 질화 불균일이 없어 품질이 안정 되어있다.

   - 로내 냉각팬 및 열교환기의 설치에 의해 종래의 일반적 인 플라즈마 질화처리에 비해  압도적인 승온 시간의

     단축이 가능.

   - 반사판에 의한 단열구조의 최적화에 의해 방열과 발열의 최적의 균형을 실현 당사의 종래설비 대비 20%의

     에너지 절약을 달성

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